Halbleiterproduktion
Halbleiter-Flyer herunterladen (Englisch): GYLON® Style 3545 | STRESS SAVER® Style 3522 | Case Study
GYLON® 3545
Halbleiterherstellung – Anschluss von Absauganlagen
Bei der Verarbeitung von Halbleitern werden viele Chemikalien verwendet. Ihre Dämpfe und Rauchgase werden über den Anschluss der Absaugvorrichtung an die Reinigungs- und Rückgewinnungssysteme abgesaugt. Die am Anschluss des Absauggeräts verwendeten Dichtungen müssen chemisch beständig und physikalisch belastbar sein. Fragen und Probleme können auftreten, wenn die Dichtungen nicht ausreichend chemisch beständig und physikalisch belastbar sind.
GYLON® 3545 übertrifft andere Dichtungsmaterialien, die für Auspuffanlagen verwendet werden, und bietet Sicherheits-, Leistungs- und Kostenvorteile. GYLON® 3545 ist ein hochleistungsfähiges Dichtungsmaterial aus mehrschichtigem PTFE für dauerhafte Elastizität. GYLON® 3545 hat einen zentralen Kern aus einer harten, druckfesten PTFE-Schicht mit weichen, komprimierbaren, mikrozellularen PTFE-Außenschichten.
GYLON® 3545 weist im Vergleich zu PTFE und ePTFE eine bessere Elastizität und bessere physikalische Eigenschaften auf.
GYLON® 3545 besteht zu 100 % aus PTFE und ist mit den verwendeten Chemikalien und deren Nebenprodukten kompatibel. Dazu gehören Flusssäure, Salzsäure, Salpetersäure, Schwefelsäure, Ammoniak, Ammoniumsalze, Calciumsalze.
Wichtigste Vorteile
| » Ausgezeichnete chemische Beständigkeit |
| » Hohe Widerstandsfähigkeit |
| » Gestoppter Kältefluss |
| » Hochdruck- und Vakuumaufgaben |
| » Druck- und Vakuumaufgaben |
| » Temperatur -268°C bis +260°C |
| » 17 N/mm2 Mindestlast, 140 N/mm2 Höchstlast |
STRESS SAVER® 3522
Ultrareines Halbleiterwasser (UPW), Handhabung von Säuren und Neutralisierung
Ultrareines Wasser (UPW) sowie die Handhabung und Neutralisierung von Säuren sind bei der Herstellung von Halbleitern von entscheidender Bedeutung. Die Rohrleitungen für diese Prozesse können aus rostfreiem Stahl oder aus nichtmetallischem Material, z.B. PVDF, bestehen. Die Dichtungen für die Rohrleitungen müssen hohen Reinheitsanforderungen genügen, chemisch mit den Prozessmedien verträglich sein und bei geringer Schraubenbelastung wirksam abdichten.
STRESS SAVER® 3522 übertrifft andere Dichtungstypen und bietet Sicherheits, Leistungs und Kostenvorteile.
Die eingegossenen, erhöhten Rippen des STRESS SAVER® 3522 tragen dazu bei, die Druckbelastung zu bündeln und so eine bessere Abdichtung zu erreichen.
STRESS SAVER® 3522 weist im Vergleich zu reinem PTFE und ePTFE eine bessere Elastizität und bessere physikalische Eigenschaften auf.
STRESS SAVER® 3522 besteht zu 100% aus PTFE und ist mit den verwendeten Chemikalien und deren Nebenprodukten verträglich.
Wichtigste Vorteile
| » Ausgezeichnete chemische Beständigkeit. |
| » Hohe Widerstandsfähigkeit. |
| » Gestoppter Kältefluss. |
| » Geeignet für metallische und nicht-metallische Rohrleitungen mit Flach oder Hochbordflanschen. |
| » Ideal für nicht-metallische Rohrleitungen PVC, FRP, PVDF, CPVC, PP. |
| » Homogene Konstruktion – einteiliges Design zur Vermeidung von Permeation, Delamination oder Umklappen der Umschlagkonstruktion. |
| » Temperatur -268°C bis +260°C |
GYLON® 3545
Fallstudie : Halbleiterherstellung
Branche
Halbleiter Industrie
Kunde
Ein bedeutender Hersteller von Halbleitern.
Hintergrund
Der Kunde verwendete geschäumte PTFE-Dichtungen für seine Auspuffwerkzeuganschlüsse. Diese Anwendung beinhaltet eine Mischung aus Chemikalien, Nebenprodukten und Abgasen. Die Flansche in dieser Anwendung bestehen aus PTFE-beschichteten Edelstahlrohren, Kohlenstoffstahl, Edelstahl, FRP und CPVC. Aufgrund der geringen Belastung der meisten dieser Flansche ist eine weiche, kompressible Dichtung erforderlich.
Herausforderungen
Das Durchdringen von Flüssigkeit durch den Körper der ePTFE Dichtungen war an der Tagesordnung. Bei den Niedriglast-Flanschanwendungen
des Herstellers traten häufig Leckagen auf, weshalb dringend eine bessere Dichtungslösung gefunden werden sollte.
Betriebsbedingungen
1. Temperatur: 65°C (150°F)
2. Anwendung: Flansch – nichtmetallisch. Anschluss für Abgaswerkzeug.PTFE-Leitungssysteme, Kohlenstoffstahl,Edelstahl, FRP und CPVC-Rohrleitungen
3. Medien: Salzsäure und Schwefelsäure, 10-75%, 260°C (500°F) und darunter
4. Druck: 1 bar (15 psi)
Lösung und Nutzen
Der Hersteller ersetzte die ePTFE-Dichtungen durch Garlock GYLON® 3545. Seit der Einführung unserer Dichtungslösung sind die Probleme mit Leckagen in dieser Anwendung beseitigt. Obwohl GYLON® 3545 haptisch den ePTFE-Dichtungen sehr ähnlich ist und auch ebenso komprimierbar, verhindern doch seine mikrozellulare Konstruktion und der starre PTFE-Mittelkern die Permeation durch den Dichtungskörper.
Dank GYLON® 3545 konnte der Halbleiterhersteller Leckagen beseitigen, die Sicherheit und Zuverlässigkeit verbessern und die Wartungskosten senken.
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